Модель:VM3020HD/VM4030HD/VM5030HD Площадь рабочего стола:350*250мм/450*350мм/550*350мм Ход движения (по оси X,Y):300*200мм/400*300мм/500*300мм Ход движения (по оси Z):200 (Focus) Разрешение:1um Погрепшость:≤(3.0+L/200) (L- длина образца, единица: мм)
